振動敏感設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn)在設(shè)計用于研究、微電子制造和類似活動的設(shè)施時，通常需要具有通用的振動標(biāo)準(zhǔn)（即適用于設(shè)備類別和活動），而不是特定于設(shè)備的特定項目。本文描述了基于三分之一倍頻程振動速度譜的一組標(biāo)準(zhǔn)的推導(dǎo)和使用。本文還討論了制定設(shè)備振動靈敏度測量方法和標(biāo)準(zhǔn)的必要性。呼吁設(shè)備制造商和用戶分別制定和要求真實(shí)準(zhǔn)確的規(guī)范。隨著高科技界進(jìn)入“納米時代”，這一點(diǎn)尤為重要；
對機(jī)加工，磨床，CNC機(jī)床地面也有著隔振設(shè)計規(guī)范，需要對防止這些設(shè)備的地面或平臺進(jìn)行振動測試，根據(jù)加工精度，對應(yīng)不同標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定，判斷當(dāng)前振動是否超標(biāo)。
無錫某韓國企業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)光刻機(jī)，蝕刻機(jī)等精密設(shè)備，對設(shè)備平臺單獨(dú)進(jìn)行隔振設(shè)計，平臺搭建完成后，對隔振平臺進(jìn)行微振動測試，判斷是否符合微振動標(biāo)準(zhǔn)。
國內(nèi)知名大學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備研究院，房間周圍有空調(diào)設(shè)備運(yùn)行，需要對半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行微振動測試，看空調(diào)運(yùn)行對平臺振動的影響大小，振動是否符合地面微振動標(biāo)準(zhǔn)。
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